Моносилан ОСЧ и полупроводниковый поликристаллический кремний

Назначение

Микроэлектроника (создание интегральных схем), оптоэлектроника, силовая электроника, солнечная энергетика (создание солнечных батарей).

Описание разработки

Разработана оригинальная экологически чистая бесхлорная технология получения моносилана ОСЧ и ПКК, включая следующие стадии:
· получение и очистка триэтоксисилана,
· диспропорционирование триэтоксисилана с образованием моносилана ОСЧ и тетраэтоксисилана,
· пиролиз моносилана ОСЧ и получение ПКК,
· гидролиз тетраэтоксисилана с целью получения особочистых кремнийсодержащих продуктов (кремнезоль, диоксид кремния и т.д.).