|
|
Высокочистые элементоорганические продукты для полупроводниковых материаловРазработаны оригинальные технологии получения:· моносилана бесхлорным методом; · высокочистого кремния; · метилсилана для композиционных материалов; · высокочистого мышьяка из продуктов переработки люизита; · комплекса высокочистых кремнийсодержащих продуктов; · дисилана ОСЧ из доступного отечественного сырья. Уникальные высокочистые продукты являются исходным материалом для создания эпитаксиальных структур, на основе которых изготавливаются фотоприемники, солнечные батареи, микросхемы, светодиоды для приборов точного времени и т.д. |



