Высокочистые элементоорганические продукты для полупроводниковых материалов
Разработаны оригинальные технологии получения:
· моносилана бесхлорным методом;
· высокочистого кремния;
· метилсилана для композиционных материалов;
· высокочистого мышьяка из продуктов переработки люизита;
· комплекса высокочистых кремнийсодержащих продуктов;
· дисилана ОСЧ из доступного отечественного сырья.
Уникальные высокочистые продукты являются исходным материалом для создания эпитаксиальных структур, на основе которых изготавливаются фотоприемники, солнечные батареи, микросхемы, светодиоды для приборов точного времени и т.д.